離子減薄機(Precision Ion Polishing System)

 

一、系統規格及型號:

1. 機型:Gatan 691

2. 離子槍:Miniature Two Penning Ion Guns

3. 離子槍能量:1.5 KeV~ 6 KeV

4. 離子束減薄角度: +10° to -10°

5. 試片尺寸:3 mm (直徑)

6. 試片座旋轉速率:1 ~ 6 rpm

7. 離子源:Ar 氣體

8. Ion Current Density :10 mA/cm2 Peak

 

二、系統外觀:

 

三、主要功能說明:

藉由離子束入射試片表面,去除TEM試片表面的雜質,同時減薄TEM試片厚度。