原子力顯微鏡系統(C-AFM)

 

一、系統規格及型號:

1. 機型:NT-MDT Solver P47 (SP-47)

2. 成像模式:原子力顯微鏡(AFM)及掃描電流顯微鏡(C-AFM)

3. 掃描面積:40 X 40 μm2

4. 試片尺寸:最大1.5 × 2 cm2

5. 最大高度掃描範圍:~ 5 μm

6. 解析度:XY平面2 nm,Z軸0.07 nm

7. 操作環境:大氣1atm

8. 探針規格:

(a) Nanosensors PointProbePlus-RT-NCHR,tip curvature radius < 7nm

(b) Nanosensors SuperSharpSilicon-NCHR,tip curvature radius < 2nm

(c) μ-masch NSC15,tip curvature radius < 7nm

 

二、系統外觀:

系統主要分五個部份:(1) Scanner; (2) Tip Head ; (3) Tip Holder ; (4) Suspension ; (5) Controller & PC。(結構如下圖所示)

 

三、使用功能說明:

C-AFM原子力顯微鏡

探針貼近試片表面時,探針與試片之間的作用力大小反應於懸臂的形變上,藉由導入雷射光束並探測懸臂形變量,將訊號送至回饋控制電路處理並輸出至Z掃描器,可以得到等作用力的高度輪廓,加以X-Y掃描器做探針-試片間相對性位移,即描繪出試片微區的表面形貌。經由表面形貌數據的統計,可以萃取出表面粗糙度、粒徑大小等參數。

  分析項目 檢測說明 範例
1 AFM 檢測量測樣品表面形貌、粗造度及表面3D成像
2 C-AFM 掃描樣品表面電流

分析技術特性:

1. 試片大小<1.5 × 2 cm2

2. 樣品:固態片狀材料,最大高度落差< 5μm

3. C-AFM 量測介電層漏電流,量測範圍1~100 pA